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石墨舟裝卸室是怎么做的?

作者:jcshimo 發布時間:2023-10-09 15:39:49

    石墨舟裝載室:用于太陽能職業和PECVD運載車輛支撐,裝載硅片,制備中高效過濾器,確保吹出的空氣滿足凈化要求。 
    石墨舟作業原理: 空氣通過高效過濾后,均勻壓入阻尼層,使潔凈氣流筆直、單向送入負載作業區,然后確保作業區的潔凈度滿足工藝要求。操作人員在清潔的環境中將硅片安裝到石墨舟上。
石墨舟主要特點: 
    1、能精確地使石墨舟軸承板小車定位;
    2、全不銹鋼制作,整機結構結實牢靠;
    3、選用GK系列高效空氣過濾器3臺;
    4. PECVD運載車輛內部可歪斜15度或旋轉180度;
    5、凈化風機的噪聲小于50dB.
    6、確保作業區域的潔凈度達到工藝要求100級。